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区别：1、以至于：主要用作连接词或短语，一般表示从小到大，从少到多，从浅到深，从低到高；以致于：多用于表示下文是上文所说的原因的结果。2、以至于：一直到，表示情况所达到的深度或结果；以致于：多指不希望出现的结果。
词语造句
以至于
1、如此的在乎，以至于我们开始失去自我。
2、我太高兴了，以至于情不自禁地微笑着。
3、皆为树置失宜,不预为节制,以至于灭亡。
4、他极度心不在焉，以至于两天没吃东西。
5、由于时间仓促，以至于我不能做好充分的准备。
以致于
1、她为了工作忙得不可开交，以致于没时间做别的事。
2、由于风气不正，章法不严，以致于百弊丛生，再不下决心抓一抓是不行的。
3、我的工作非常紧张，以致于我没有时间休息。
4、黑洞的引力场是如此强大以致于即使是光都无法逃逸出去。
5、这种变化如此迅速，如此普遍，以致于不可能简单地解释清楚。