一般有光谱的获得和光谱的分析两大过程。具体可分为:
发射光谱分析是通过下列过程来完成的:
(1)使试样在外界能量的作用下变成气态原子, 并使气态原子的外层电子激发至高能态。处于激发态的原子不稳定, 一般在10s后便跃迁到较低的能态,这时原子将释放出多余的能量而发射出特征的谱线。由于样品中含有不同的原子, 就会产生不同波长的电磁辐射。
(2) 把所产生的辐射用棱镜或光栅等分光元件进行色散分光, 按波长顺序记录在感光板上, 可得有规则的谱线条即光谱图 (也可用目视法或光电法进行测量)。
(3)检定光谱中元素的特征谱线的存在与否,可对试样进行定性分析; 进一步测量各特征谱线的强度可进行定量分析。